体育游戏app平台本肯求公开一种自瞄准多重图形的变成才气及半导体器件-Kaiyun·体育(全站)登陆入口官方网站登录入口
金融界2024年12月21日音书体育游戏app平台，国度常识产权局信息夸耀，北京朔方华创微电子装备有限公司肯求一项名为“自瞄准多重图形的变成才气及半导体器件”的专利，公开号CN119153318A，肯求日历为2023年6月。
专利摘录夸耀，本肯求公开一种自瞄准多重图形的变成才气及半导体器件，波及半导体界限。自瞄准多重图形的变成才气包括：提供具有主张层的半导体衬底，在主张层上变成芯轴层和摈弃层；对芯轴层和摈弃层进行刻蚀，以变成芯轴掩膜图案；在主张层和芯轴掩膜图案上进行千里积，轮番变成第一侧墙层、第二侧墙层和第三侧墙层，第三侧墙层填充第二侧墙层的破绽；在水平时进取去除第二侧墙层和第三侧墙层，以裸露第一侧墙层的顶面；去除暴浮现的第二侧墙层；去除水平时进取的第一侧墙层，以暴浮现摈弃层；去除暴浮现的摈弃层及芯轴层；对主张层进行刻蚀，在主张层上变成预定图案。本肯求处置面前自瞄准双重工艺难以知足小尺寸条目等问题。
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